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AMB覆銅陶瓷基板介紹

AMB覆銅陶瓷基板

覆銅陶瓷板


近年來(lái),隨著新能源行業(yè)的迅猛發(fā)展,半導(dǎo)體功率模塊得到了廣泛的應(yīng)用。功率模塊一般應(yīng)用在大功率大電壓環(huán)境中,相較于通常的電子應(yīng)用領(lǐng)域,其對(duì)載板的電流載流能力、絕緣耐壓能力、以及高效散熱能力有著更高的要求。而覆銅陶瓷基板的高載流、高耐壓、高散熱的特點(diǎn),恰好滿(mǎn)足了功率模塊的應(yīng)用需求。


覆銅陶瓷基板按工藝分可以一般可分為DBC(Direct bonded copper直接覆銅陶瓷基板)、DPC(Direct plated copper,直接電鍍陶瓷基板)、AMB(Active metal brazing,活性金屬釬焊陶瓷基板)等。其中DBC和AMB覆銅陶瓷基板在半導(dǎo)體功率模塊中被大量應(yīng)用。

DBC陶瓷基板?  

DBC陶瓷基板一般是在Al2O3陶瓷上直接覆銅。首先需要將銅箔(Cu)做氧化處理,然后將Al2O3陶瓷片和處理后的銅箔壓合,銅箔在1065°C形成CuO共晶相,進(jìn)而與Al2O3陶瓷片發(fā)生反應(yīng)生成CuAO2Cu(AO2)2,實(shí)現(xiàn)銅箔與陶瓷間共晶鍵合。如果是AlN陶瓷,則需要預(yù)先在AlN陶瓷表面做氧化處理,生成Al2O3,再進(jìn)行覆銅。

其工藝流程如下圖所示。

DBC結(jié)構(gòu)圖

DBC切面圖

得益于銅箔與陶瓷間共晶鍵合強(qiáng)度較高,DBC基板的銅厚一般可以做到100μm-600μm,同時(shí)陶瓷和銅具有良好的導(dǎo)熱性,DBC基板的熱穩(wěn)定性也很好,廣泛應(yīng)用于各種IGBT功率模塊、激光器(LD)和光伏(PV)等器件封裝散熱中。


AMB陶瓷基板 ?  

AMB 陶瓷基板則是利用含少量活性元素的金屬釬焊料,將銅箔與陶瓷片間緊密焊接起來(lái)。AMB釬焊料中添加的少量活性元素具有高活性,可提高釬焊料熔化后對(duì)陶瓷的潤(rùn)濕性,使陶瓷表面無(wú)需金屬化就可與金屬實(shí)現(xiàn)良好焊接。

其工藝流程如下圖所示。


AMB結(jié)構(gòu)圖

AMB切面圖

通過(guò)釬焊實(shí)現(xiàn)陶瓷表面覆銅的AMB基板,相比DBC基板,其結(jié)合強(qiáng)度更高,可靠性也更好。AMB基板中的陶瓷一般是Si3N4陶瓷和AlN陶瓷,二者的導(dǎo)熱性能(Si3N4 AMB>80W/m·K, AlN AMB>170 W/m·K)遠(yuǎn)高于Al2ODBC(24W/m·K)。另外Si3N4 AMB還擁有出色的機(jī)械強(qiáng)度。


近年來(lái),新能源汽車(chē)的爆發(fā)式發(fā)展,也帶來(lái)了車(chē)規(guī)功率模塊需求的快速增長(zhǎng)。同時(shí)SiC功率器件也逐漸走向成熟,并開(kāi)始大規(guī)模應(yīng)用,也推動(dòng)著功率模塊的功率密度不斷地提高。因此也對(duì)封裝材料的散熱性能、機(jī)械強(qiáng)度、可靠性提出了更高的要求。AMB陶瓷基板,尤其是Si3N4 AMB 陶瓷基板很好地滿(mǎn)足了車(chē)規(guī)SiC功率模塊的性能需求。

深圳市金瑞欣特種電路技術(shù)有限公司

金瑞欣——專(zhuān)業(yè)的陶瓷電路板制造商

通過(guò)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)的不懈努力,現(xiàn)已成功研發(fā)微小孔板、高精密板、難度板、微型化板、圍壩板等,具備DPC、DBC、HTCC、LTCC等多種陶瓷生產(chǎn)技術(shù),以便為更多需求的客戶(hù)服務(wù),開(kāi)拓列廣泛的市場(chǎng)。

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